硅压阻式传感器一般对温度比较敏感，但 跟着集成工艺技术的提高，扩散硅敏感膜的四个电阻一致性也得到进一步进步，而且在新一代的传感器中，原始的手工补偿已被激光调阻、计算机自动休整等技术所替换，传感器的温度系数已经非常小了，工作温度范围也大幅度进步了；由于扩散硅压力传感器的感慨感染、敏感转换和检测三位一体，却无机械动件连接转换环节，所以不重复性和迟滞误差很小；因为硅材料的刚性好，形变小，因而传感器的线性也非常好。因此综合表态精度很高； 扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数目级，膜片最大位移量在来微米数目级，且无机械磨损，无疲惫，无老化，均匀无端障时间长，机能不乱，可靠性高；因为扩散硅材料本身优良的化学防腐机能好，即使传感器受压面不隔离，就能在普通使用中适应各种介质，硅材料又与硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔离时结构工艺更易于实现。
。加之它的低电压、低电流、低功耗、低本钱和安全防爆的特点，可替换诸多同类型的同功能产品，具有最优良的机能价格比。

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